真空机组
作为前级泵,无油涡旋真空泵与分子泵组成了无油超高真空机组和无油真空机组,提供高极限真空度和大抽速。
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作为前级泵,无油涡旋真空泵与分子泵组成了无油超高真空机组和无油真空机组,提供高极限真空度和大抽速。