技术指标
主要用途
型号 |
GWRS30/300 |
GWRS30/600 |
GWRS70/1000 |
||
罗茨泵型号 |
ZJP-30 |
ZJP-30 |
ZJP-70F |
||
涡旋泵型号 |
GWSP300 |
GWSP600 |
GWSP1000 |
||
抽速 |
l/s |
30 |
30 |
70 |
|
l/min |
1.8*103 |
1.8*103 |
4.2*103 |
||
m3/h |
1.1*102 |
1.1*102 |
2.5*102 |
||
cfm |
6.4*101 |
6.4*101 |
1.4 *102 |
||
极限真空度 |
Pa |
≤3 |
≤1 |
≤1 |
|
mbar |
≤3.0*10-2 |
≤1.0*10-2 |
≤1.0*10-2 |
||
Torr |
≤2.2*10-2 |
≤7.5*10-3 |
≤7.5*10-3 |
||
psi |
≤22 |
≤7.5 |
≤7.5 |
||
噪音 |
dB(A) |
≤73 |
|||
最大进/排气压力 |
MPa |
0.1/0.13 |
|||
工作环境温度 |
℃ |
5~40 |
|||
罗茨泵功率 |
kW |
0.55 |
0.75 |
1.50 |
|
涡旋泵功率 |
kW |
0.55 |
0.75 |
1.50 |
|
总功率 |
kW |
1.10 |
1.50 |
3.00 |
|
冷却方式 |
|
风冷 |
|||
进气口方向 |
|
垂直 |
|||
进//排气口法兰 |
|
80/KF16 |
80/KF16 |
80/KF16*2 |
|
外形尺寸 |
mm |
870*800*950 |
870*800*950 |
1100*1000*1100 |
使用注意事项
GWMS系列无油超高真空机组用于抽干燥 、洁净的气体, 不能用于抽对人体有害 、易爆、 易燃或腐蚀性气体, 也不能用于抽含有化学品 、溶剂以及能生成粉末的物质, 以免由于毒气 、 爆炸 、燃烧引起人身伤害以及设备损毁。
进气温度不能高于50℃, 如果超过该温度, 必须在进气管路上安装冷却装置, 使进气温度 低于50℃。
特点
抽速大,范围广
适用于全球电源电压与频率
高效环保,不返油也不喷油
低振动,低噪音,低能耗
重量轻,体积小
用途
真空炉
激光管抽空
电子束镀膜
LED/LCD/等离子清洗
真空镀膜/预处理
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